- MEMS

-40°C ~ 105°C -40°C ~ 85°C

16-BFLGA 20-BLGA 20-LFLGA 32-BFCBGA 8-SMD，J 形引線 模塊

SPI 數(shù)字 - SPI 比率

±0.2% 0.0122°/sec/LSB 0.09766°/sec/LSB 0.1mV/°/s 1.04°/sec/LSB，2.08°/sec/LSB，4.17°/sec/LSB 12.5 mV/°/sec 12.5mV/°/s 23,488LSB/°/s 25 mV/°/s 25mV/°/s 6mV/°/s 7 mV/°/sec 7mV/°/s

3.5mA 4.3mA 41mA 4mA 73mA

16-LGA（8.2x8.2） 20-LGA（11x11） 32-CBGA（7x7） 8-SMD （5x3.2）

±150°/s ±20000°/s ±250°/s ±300°/s ±3500°/s，±7000°/s，±14000°/s ±50°/s ±60°/s ±75°/s ±80°/s ±80°/s，±160°/s，±320°/s

1kHz 2.5kHz 2kHz 300Hz 360Hz 3kHz 50Hz