* - MEMS

-40°C ~ 105°C -40°C ~ 85°C -55°C ~ 105°C

14-CLCC 16-BFLGA 16-SOIC（0.295"，7.50mm 寬） 20-BLGA 20-LFLGA 32-BFCBGA 模塊

SPI SPI? 數(shù)字 - SPI 模擬，比率 比率

3.15 V ~ 5.25 V 4.75 V ~ 5.25 V 5.75 V ~ 6.25 V

±0.2% 0.0122°/sec/LSB 0.09766°/sec/LSB 0.1mV/°/s 1.04°/sec/LSB，2.08°/sec/LSB，4.17°/sec/LSB 12.5 mV/°/sec 12.5mV/°/s 23,488LSB/°/s 25mV/°/s 6mV/°/s 7 mV/°/sec 7mV/°/s 80LSB/°/s 9mV/°/s

3.5mA 4.3mA 41mA 4mA 6mA 73mA

14-CLCC（9x9） 16-LGA（8.2x8.2） 16-SOIC 16-SOIC-CAV 20-LGA（11x11） 32-CBGA（7x7）

±150°/s ±20000°/s ±250°/s ±300°/s ±3500°/s，±7000°/s，±14000°/s ±50°/s ±75°/s ±80°/s ±80°/s，±160°/s，±320°/s

1 kHz 1kHz 2.5kHz 2kHz 300Hz 360Hz 3kHz 50Hz 80Hz